測(cè)量范圍

電阻率：10-5～105 ?.cm(可擴(kuò)展)；

方塊電阻：10-4～106 ?/□(可擴(kuò)展)；

電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm；

電阻：10-5～105 ?；

可測(cè)晶片直徑

140mmX150mm(配 S-2A 型測(cè)試臺(tái))；

200mmX200mm(配 S-2B 型測(cè)試臺(tái))；

400mmX500mm(配 S-2C 型測(cè)試臺(tái))

恒流源

電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式 000.00～199.99 mV；

分辨率：10μV；

輸入阻抗＞1000M?；

精度：±0.1% ；

顯示：液晶屏；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

間距：1±0.01mm；

針間絕緣電阻：≥1000M?；

機(jī)械游移率：≤0.3％；

探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；

探針壓力：5～16 牛頓(總力)

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

(見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差

( 按 JJG508-87 進(jìn)行)

0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.3％±1 字

整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測(cè)試) ≤±5％

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

≤3％

測(cè)試模式

可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試。

軟件功能（選配）

軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)*大值、 *小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試

計(jì)算機(jī)通訊接口

并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要 1.5

秒（在 10uA,0.1mA、1mA、10mA、100mA 量程檔時(shí)）。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度：23±2℃；

相對(duì)濕度：≤65％；

無(wú)高頻干擾；

無(wú)強(qiáng)光直射；