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產(chǎn)品參數(shù)
01.腔體:高真空腔體
02.樣品臺(tái)尺寸:4英寸
03.樣品固定:彈簧壓片
04.觀察窗口:6英寸
05.觀察窗口材質(zhì):藍(lán)寶石(保證紫外光的透光性)
06.真空度:2帕
07.探針臂接口:4個(gè)探針臂接口
08.電學(xué)測(cè)試接口:3同軸BNC*4、2同軸BNC*2\高壓接口10KV*1
09.輔助接口:真空接口、加熱器接口、熱電阻接口、液氮接口、保護(hù)氣接口、表面溫度熱電阻接口*2
10.制冷方式:液氮
11.溫度范圍:-196℃~600℃
12.溫控精度:±0.1℃
13.穩(wěn)定性:-196℃-常溫±0.5℃、常溫-600℃±0.2℃
14.外形:650mm長(zhǎng)*650mm寬*460mm高
15.重量:約100千克
光學(xué)系統(tǒng)
01.顯微鏡類(lèi)型:單筒顯微鏡
02.放大倍率:20X-180X
03.移動(dòng)行程: X軸行程100MM Y軸行程50MM Z軸行程50mm
04.光源:外置LED環(huán)形光源
05.CCD:2800萬(wàn)像素
06.顯示器:10寸LED
探針臂
01.X-Y-Z移動(dòng)行程:20mm*20mm*20mm
02.結(jié)構(gòu):外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu)
03.移動(dòng)精度:10微米
探針組件
01.線纜:同軸線
02.接頭類(lèi)型:SMA
03.漏電精度:10fA
04.固定探針:夾緊固定
05.頻率支持:DC-67GHZ
06.針尖直徑:0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
高壓組件
01.線纜:高壓電纜10KV
02.接頭類(lèi)型:香蕉頭
其他組件
01.真空組件:機(jī)械泵
02.冷源組件:10L液氮罐